飞利浦x5000与x5005价钱一样，飞利浦x5003和5005

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在2020年，知名企业华为被美国强行制裁，很多芯片买不到。于是大家痛定思痛找原因，其中非常重要的一点是买不到、造不出最先进的光刻机。而最顶尖的光刻机技术掌握在荷兰公司ASML手中，可以说ASML靠着光刻机技术挣得盆满钵满，但是这家荷兰公司一开始也不是那么风光，是从飞利浦的弃子成长为现在的超级公司的。

（1）被嫌弃的ASML

ASML出道的时候，只能从光刻机巨头尼康等公司手下捞点剩饭吃。一开始ASML的名字还叫做ASM光刻，是巨头飞利浦公司和荷兰先进半导体材料国际ASMI公司一起出钱搞出来的。

一开始这间公司只有31名员工，没啥排面，还在飞利浦公司附近搞了一个草台班子。但是ASM公司成立当年，就推出了第一套光刻系统PAS2000步进型。当然，这并不是说他们成立第一年就有本事搞出一套光刻机，因为这套光刻机还是吃飞利浦在1970年代就开始研发的老本，后来飞利浦注资给ASM公司也是为了完成这个系统。

1985年，ASM公司发展到100多员工，搬入新建的厂房，可以说已经有点起色了。到了第二年，更是推出PAS2500步进型，从这一点也可以看出飞利浦当初还是有几分雄心壮志的。

为了扶持小老弟，飞利浦还带着它去见其合资流片工厂台积电，为后来的爆发奠定了基础。但是这个时候的台积电和ASM虽然已经有点名气，但还没有今天如日中天的地位。两家公司的第一次合作还要到1988年，台积电因为一场大火，不得不找ASM买17台光刻机。

但是当时的市场竞争非常激烈，导致ASM根本挣不到钱。就在此时，ASML两个老板都受不了，毕竟烧钱的生意不好干，于是ASMI决定退出，紧接着是飞利浦也顶不住了，于是宣布了提质增效的计划，基本上是放弃ASM了。后来这伙人只能出来自己干，于是就改名ASML。

（2）艰难求存的ASML

看见老板都跑路了，ASML的领导肯定不能看着船沉啊，立马找到飞利浦公司董事会苦苦哀求，要飞利浦再给一笔分手费。飞利浦最后也同意了，或多或少给了不少支持。

ASML也没有辜负飞利浦，1990年他们推出了PAS5500系统，赢得了台积电，三星和现代这些后来的巨头客户。后来ASML1995年还在阿姆斯特丹和纽约上市，不过看见小老弟走上正轨之后，飞利浦立马在IPO的时候出售了手中持有的一半ASML股份，又过了几年干脆都卖掉了。但是上市的过程中，ASML也挣到了足够发展的钱，支持它继续做大。

（3）中国台湾人领导下的弯道超车

后来在ASML的发展过程中，一个中国台湾人也成为了它的贵人，那就是台积电的林本坚。林博士提出了浸入式光刻技术，这跟那时半导体工业的思路都不一样，当时半导体巨头都为超越193nm光刻绞尽脑汁，但是先后失败了。后来ASML和台积电进行了浸入式光刻的研究，突破之后双双做大。通过这种技术突破，ASML一跃成为全球光刻机市场的新霸主。

在确定了优势之后，ASML还积极巩固优势，提前进入EUV（极深紫外）时代，达到了一骑绝尘的成就。目前ASML可以完成7nm线宽制程工艺，这在全球来说，基本上找不到对手了。

ASML从30多人的草台班子变成世界最强的光刻机公司，期间也不过三十余年，一度也面临破产，也成为过弃子，但是人家不断努力，再加上还有贵人加持，最终成为世界第一。ASML的发展经历对于我们来说还是有很大的参考价值。总而言之，一个人或者一个公司，乃至于一个国家的命运，固然要靠自身的奋斗，更要考虑历史的进程。

EUV光刻机的镜头真的需要“金手指”工匠吗？[what][what][what]

前几天和朋友们聊到EUV反射式镜头的制造问题，我提到德国蔡司采用的是计算机控制修形方法 (computer controlled polishing,CCP)和离子束抛光(ion beam figuring, IBF)j技术。但是很多留言评论里提到“手工抛光制造光刻机镜头”、“蔡司也只有40多位能打造光刻机镜头的金手指工匠”等。从技术原理的层面来说，我了解到原子级别精确度的EUV镜头是不可能靠人工抛光完成，但是众多网友的消息是从哪里来的呢？

我从一本《光刻巨人：ASML崛起之路》的书中（图1）找到了一些关于蔡司光刻机镜头制造的真相：

“1990年秋，当蔡司设法为PAS 5500生产第一个i线光学元件时，该公司拥有6名“金手指”员工。他们付出了大量的血汗和泪水，能够每年交付10个i线光学元件”（图2）。i线是什么意思呢？就是35年前的365nm光刻工艺。这与EUV 7nm以下工艺差了数代噢（图3）。

由于当时的“金手指”难找，连最基本的达到产能需求的“40个金手指”都找不齐（图4）！（这可能是网络大部分传言蔡司只有不到40个金手指可以制造光刻机镜头的源头吧。）实际上，即便是“金手指”能制造i线光学元件，其精度、可靠性也非常差，导致最终光刻机效能较差。当然随着光刻机技术发展，到了深紫外光刻（DUV）阶段，“金手指”已经无法满足它的要求了（图5）。[流泪][流泪][流泪]

1993年，蔡司的工程师利希滕贝格尝试利用离子束进一步提高镜头精度以达到纳米水平。离子束虽然速度很慢，但非常精确：它们一次可以轰炸一层原子。

1994年，深陷“金手指”困境的蔡司获得飞利浦的1900万美元借款，得以完成从“金手指”的加工模式到全新的机器抛光加工的转变，从而掀开了ASML全面冲击全球光刻机龙头的大幕。[鼓掌][鼓掌][鼓掌]

所以，看了这些资料，小伙伴们还会认为今天的高端光刻机镜头是可以用“金手指”手工打磨来实现的吗？[呲牙][呲牙][呲牙]

备注：以上资料均来自网络公开信息，如有误读或理解错误，敬请指正！

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